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英??嫡刮唬篘5號(hào)館 5671
一年一度的半導(dǎo)體行業(yè)盛會(huì)——SEMICON CHINA進(jìn)入開幕倒計(jì)時(shí)!英福康也已準(zhǔn)備好帶您開啟一場充滿驚喜的“未來智能工廠檢測技術(shù)探秘之旅"!今天,官微君“小福"將化身專屬導(dǎo)游,奉上展臺(tái)超全攻略,帶您一起提前解鎖現(xiàn)場精彩!
第一站:CDG系列真空計(jì)+清潔組件
第一站,我們來到“真空世界"!在這里,CDG系列陶瓷電容式真空計(jì)是絕對(duì)的明星。它們就像一位位“真空守護(hù)者",以極耐腐蝕的超純陶瓷材料傳感器,超高精度和穩(wěn)定性,以及優(yōu)異的使用壽命,確保半導(dǎo)體制造環(huán)境的潔凈無瑕與長久可靠。
第二站:UL3000 Fab 氦氣檢漏儀
接下來,官微君將帶您來到“泄漏zhentan站"!專為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的專業(yè)要求而開發(fā)的UL3000 Fab 可移動(dòng)式氦氣檢漏儀,擁有“纖細(xì)身材"和“chaoqiang大腦",能夠靈活穿梭于生產(chǎn)現(xiàn)場,快速定位泄漏點(diǎn)。無論是微小漏洞還是隱蔽問題,都逃不過它的“火眼金睛"!
第三站:Transpector CPX
第三站,我們來到“氣體實(shí)驗(yàn)室"!Transpector CPX 殘余氣體分析儀(RGA)是這里的主角,這位“數(shù)據(jù)分析師",有著極快的測量速度和高探測靈敏度,能滿足如ALD、CVD、PVD等半導(dǎo)體工藝的嚴(yán)苛要求,實(shí)時(shí)監(jiān)測工藝氣體成分,確保生產(chǎn)過程的每一步都精準(zhǔn)無誤。此外,相較上一代產(chǎn)品,其不僅系統(tǒng)體積減小了30%,能夠更輕松地集成在產(chǎn)線內(nèi),還通過行業(yè)的抽氣系統(tǒng)和溫控加熱組件簡化了系統(tǒng)復(fù)雜度,讓操作更加簡便。
第四站:智能工具黃金組合
接下來是UL系列檢漏儀的“智能工具樂園"!這里有:
SMART-Spray 氦氣噴槍
無線、無管,無障礙,讓氦氣檢漏更快、更準(zhǔn)、更可靠。
I·BOOST 軟件
超真空模式下,節(jié)省高達(dá)50%的泄漏檢測時(shí)間,效率提升快到飛起!
SPRAY-CHECK 測試漏孔
快速驗(yàn)證檢漏儀狀態(tài),確保每一臺(tái)設(shè)備都“健康上崗"。
第五站:fabguard 智能過程監(jiān)控軟件
最后一站,我們來到“智慧中樞"!fabguard 智能過程監(jiān)控軟件,是英???strong>面向半導(dǎo)體未來工廠智能化、數(shù)字化需求的一個(gè)chaoqiang數(shù)據(jù)工具包。
在它的助力下,工廠內(nèi)所有的流程設(shè)備、傳感器與檢測設(shè)施的各類數(shù)據(jù)都可被實(shí)時(shí)記錄、傳輸、監(jiān)測,并進(jìn)行自動(dòng)分析,不僅能為工廠建立起一個(gè)全面的故障檢測機(jī)制,確保流程精準(zhǔn)可靠,還能連通其他數(shù)據(jù)平臺(tái)為半導(dǎo)體生產(chǎn)流程優(yōu)化、工藝升級(jí)等提供科學(xué)的數(shù)據(jù)支持。想知道它是如何讓工廠變得更聰明嗎?快來一探究竟!